Важным моментом при проведении моделирования является определение значений параметров, которые входят в уравнения непрерывности для процессов, приводящих к возникновению ответственных за накопление заряда дефектов. Довольно часто моделирование проводят расчетно-экспериментальным методом с подбором параметров модели по критерию наилучшего совпадения экспериментальных данных и результатов расчетов [1-5].
Данный подход оправдан, так как параметры, которые определяют кинетику зарядовых процессов, во многом зависят от конструктивно-технологического исполнения и исходного состояния МОП-структуры, подвергшейся действию облучения. При отсутствии данных, полученных экспериментальным путем, для моделируемых структур для выбора параметров модели следует руководствоваться рекомендациями приведенными ниже.
