TY  CONF
TI  МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ СКОРОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ КОНДЕНСАЦИОННОГО ПОКРЫТИЯ ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕ
KW  вакуумные покрытия
KW  термическое испарение
KW  скорость конденсации
KW  математическая модель
JO  САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ 2019
AU  Инкин, Т.А.
AU  Штенников, И.В.
PY  2025
PB  Брянский государственный технический университет