%0 Conference Article
%T МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ СКОРОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ КОНДЕНСАЦИОННОГО ПОКРЫТИЯ ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕ
%A Инкин, Т.А.
%A Штенников, И.В.
%K вакуумные покрытия, термическое испарение, скорость конденсации, математическая модель
%J САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ 2019
%D 2025
%P 3
%I Брянский государственный технический университет